本超纯水生产系统采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过处理后的原水符合反渗透的进水要求，然后进入程控反渗透装置去除水中的溶解性盐类物质、细菌、热源等，然后使用连续电除盐装置进行深度脱盐，使产水电阻率达到15MΩ?cm以上，再采用电子级纯水树脂精混床精除盐，使产水电阻率达到18.2MΩ?cm，后处理采用紫外线杀菌器和精密过滤器隔绝细菌的二次污染，产水可达到国家电子级水的技术指标GB 11446.1-1997。